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油的正常顏色是透明的淡黃色。如果油的顏色變深，說(shuō)明油被污染了?？赡苄枰鍧嵄檬?。如果泵用于排出蒸汽狀氣體，蒸汽可能會(huì)浸入油中使其乳化，并使油變成乳白色。在這兩種情況下，都必須立即更換機(jī)油。
真空油顏色異常，真空油顏色是即將發(fā)生泵故障的另一個(gè)明顯跡象。必須定期通過(guò)油視鏡觀察真空油的顏色，例如每天、每周或每月。每次只需要一秒鐘，但這非常重要。
泵的傳動(dòng)方式真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。
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真空泵的工作原理原理是利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過(guò)程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過(guò)程中體積變小，壓強(qiáng)增大，zui終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結(jié)構(gòu)緊湊，島津磁懸浮渦輪泵維修與保養(yǎng)，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。
羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?，須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵，需要用前級(jí)泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無(wú)油真空泵，分子真空泵等。國(guó)內(nèi)zui大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
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旋片式真空泵設(shè)備潤(rùn)滑系統(tǒng)完好，潤(rùn)滑油質(zhì)符合規(guī)定要求，并定期進(jìn)行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進(jìn)行校驗(yàn)；各閥門啟閉靈活、密封良好，無(wú)泄漏現(xiàn)象；管道無(wú)泄漏，并定期進(jìn)行檢查。電動(dòng)機(jī)配備合理，運(yùn)行正常（溫升和聲響正常），電氣線路an全可靠，有接地保護(hù)措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護(hù)裝置齊全可。設(shè)備及冷卻系統(tǒng)設(shè)施整潔，無(wú)銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統(tǒng)運(yùn)行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過(guò)規(guī)定要求，應(yīng)有斷水保護(hù)裝置。
一般來(lái)說(shuō)所用的工作液都是水。礦用單軸振動(dòng)篩作用在轉(zhuǎn)子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補(bǔ)充新鮮的水，以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。
電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小，集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長(zhǎng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見(jiàn)其發(fā)展對(duì)真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。
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